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集成电路是工业的“粮食”，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一，是实现中国制造的重要技术和产业支撑。 发展集成电路产业既是信息技术产业乃至工业转型升级的内部动力，也是市场激烈竞争的外部压力。加快发展集成电路产业，对加快工业转型升级，实现“中国制造2025”的战略目标，具有重要的战略意义。
为进一步加快推进我省集成电路装备产业发展，培育壮大集成电路装备整机和关键零部件产业，根据集成电路装备产业集群发展目标，近日，辽宁省政府印发《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》(以下简称《若干措施》)，以进一步加快推进辽宁省集成电路装备产业发展，培育壮大集成电路装备整机和关键零部件产业。
《若干措施》围绕支持企业培育措施、支持研发创新措施、支持人才引育措施、支持创新投融资措施、支持土地供给政策等五方面提出14项措施。
《若干措施》指出，支持企业做大规模。对上年度营业收入首次突破1亿元、5亿元、10亿元、20亿元、30亿元、50亿元的企业，分别给予200万元、500万元、1000万元、2000万元、3000万元、5000万元的一次性奖励。每上一个台阶奖励一次。
同时，《若干措施》鼓励重点企业以商招商。鼓励企业围绕产业链、供应链需求，引进省外具有独立法人资格的集成电路装备整机及关键零部件配套企业(项目)入驻辽宁省集成电路装备及零部件产业园，对投资额5000万元(含)以上的企业(项目)，按照实际投资的5%，给予招商企业最高1000万元奖励。
为了支持企业新产品销售，《若干措施》对集成电路装备整机和关键零部件制造企业首次销售自主研制的集成电路装备整机或核心零部件产品，按照单台(套)或单批次合同额的30%给予奖励。同一企业年度奖励额度最高3000万元，每型产品只奖励一次。
为了支持企业研发投入，《若干措施》对上一年度营业收入在5亿(含)元以下、研发投入比例不低于10%，营业收入在5亿元(不含)至10亿元(含)之间、研发投入不低于7%，营业收入在10亿元(不含)以上、研发投入不低于5%的集成电路装备整机企业和关键零部件制造企业，给予实际研发投入的30%、最高1000万元的研发补助。
此外，在支持产业链协同发展、加强创新平台建设、人才引育措施等方面，辽宁省都将给予政策奖励。《若干措施》执行期为2023年至2025年。支持对象为省内从事集成电路装备整机和关键零部件生产的重点企业。重点企业须符合辽宁省集成电路装备产业发展专项规划发展方向。产业发展方向和重点企业实行清单化动态管理。对符合本政策措施，同时符合我省其他政策规定的，按照从高不重复的原则予以支持，另有规定的除外。